Conditionneurs de tampons CMP

Les conditionneurs de tampons CMP de 3M sont optimisés pour une durée de vie prolongée des tampons et des disques

Les conditionneurs de tampons de planarisation chimico-mécanique (CMP) diamantés, à brosse douce et micro-répliqués de Image des conditionneurs de tampons CMP de 3M3M sont conçus pour répondre aux exigences de processus les plus strictes. Grâce à des structures en céramique revêtues de diamant, micro-répliquées et conçues avec précision, les conditionneurs de tampons Trizact™ de 3M offrent d'excellentes performances disque à disque, très cohérentes pour les processus de nœuds avancés les plus exigeants. Les conditionneurs de tampons diamantés utilisent une technologie abrasive frittée exclusive de 3M afin de fournir une liaison chimique et mécanique puissante entre les diamants et le substrat, ce qui aide à maintenir les diamants intacts et en place pour des performances de conditionnement à long terme constantes.

Fonctionnalités
  • Utilisé pour une large gamme de processus et d'étapes de processus CMP
  • Optimisé pour une durée de vie prolongée des tampons et des disques
  • Large gamme de solutions pour différentes duretés de tampons, boues abrasives et exigences de processus
  • Longue durée de vie des tampons et des disques pouvant contribuer à réduire le nombre d'arrêts de maintenance, permettant ainsi un meilleur potentiel de réduction des coûts de possession
  • Agressivité de conditionnement personnalisable
Applications
  • CMP
  • Polissage chimico-mécanique
  • Fabrication de plaquettes
  • Nœud avancé (mémoire et logique)
  • Fabrication de disques durs

Diamond Pad Conditioners

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Date de publication : 2025-10-02